Publication

Near-field distribution in light-coupling masks for contact lithography

1999
Conference Papers

Résumé

We discuss the potential and limitations of Light-coupling masks for high-resolution subwavelength optical lithography. Using a three-dimensional fully vectorial numerical approach based on Green's tensor technique, the near-field distribution of the electric field in the photoresist is calculated. We study the dependence of the illuminating Light and the angle of incidence on polarization. Furthermore, we investigate the replication of structures of various sizes and separations. It is predicted that the formation of features in the 60 nm range is possible using light with a 248 nm wavelength. However, with decreasing separation among the features, crosstalk limits the ultimate resolution. (C) 1999 American Vacuum Society. [S0734-211X(99)04606-5].

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/75b87732-a5ef-4e91-8495-e6e8c89717cc

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Concepts associés (26)

Nanolithography

Nanolithography (NL) is a growing field of techniques within nanotechnology dealing with the engineering (patterning e.g. etching, depositing, writing, printing etc) of nanometer-scale structures on various materials. The modern term reflects on a design of structures built in range of 10−9 to 10−6 meters, i.e. nanometer scale. Essentially, the field is a derivative of lithography, only covering very small structures. All NL methods can be categorized into four groups: photo lithography, scanning lithography, soft lithography and other miscellaneous techniques.

Champ électrique

thumb|Champ électrique associé à son propagateur qu'est le photon. right|thumb|Michael Faraday introduisit la notion de champ électrique. En physique, le champ électrique est le champ vectoriel créé par des particules électriquement chargées. Plus précisément, des particules chargées modifient les propriétés locales de l'espace, ce que traduit justement la notion de champ. Si une autre charge se trouve dans ce champ, elle subira l'action de la force électrique exercée à distance par la particule : le champ électrique est en quelque sorte le "médiateur" de cette action à distance.

Photolithographie

La photolithographie est l'ensemble des opérations permettant de transférer une image (généralement présente sur un masque) vers un substrat. Cette technique est très utilisée dans l'industrie du semi-conducteur. Les motifs de l'image ainsi transférée deviendront par la suite les différentes zones des composants électroniques (exemple : contact, drain...) ou les jonctions entre ces composants.

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