Publication

Digital Holographic Microscopy (DHM) for metrology and dynamic characterization of MEMS and MOEMS

Christian Depeursinge, Tristan Colomb, Etienne Cuche, Florian Charrière, Frédéric Montfort
2006
Conference Papers

Résumé

Digital Holographic Microscopes (DHM) enables recording the whole information necessary to provide real time nanometric vertical displacement measurements with a single image acquisition. The use of fast acquisition camera or stroboscopic acquisition mode makes these new systems ideal tools for investigating the topography and dynamical behavior of MEMS and MOEMS. This is illustrated by the investigation of resonant frequencies of a dual axis micromirror. This enables the definition of the linear, non-linear, and modal resonance zones of its dynamical response.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/60338ab0-0963-4f9f-bc4c-061f0c3f57d6

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Concepts associés (26)

Microscope optique

Le microscope optique ou microscope photonique est un instrument d'optique muni d'un objectif et d'un oculaire qui permet de grossir l'image d'un objet de petites dimensions (ce qui caractérise sa puissance optique) et de séparer les détails de cette image (et son pouvoir de résolution) afin qu'il soit observable par l'œil humain. Il est utilisé en biologie, pour observer les cellules, les tissus, en pétrographie pour reconnaître les roches, en métallurgie et en métallographie pour examiner la structure d'un métal ou d'un alliage.

Microscopie

La microscopie est un ensemble de techniques d' des objets de petites dimensions. Quelle que soit la technique employée, l'appareil utilisé pour rendre possible cette observation est appelé un . Des mots grecs anciens mikros et skopein signifiant respectivement « petit » et « examiner », la microscopie désigne étymologiquement l'observation d'objets invisibles à l'œil nu. On distingue principalement trois types de microscopies : la microscopie optique, la microscopie électronique et la microscopie à sonde locale.

Holographie

L'holographie est un procédé d'enregistrement de la phase et de l'amplitude de l'onde diffractée par un objet. Ce procédé d'enregistrement permet de restituer ultérieurement une image en trois dimensions de l'objet. Ceci est réalisé en utilisant les propriétés de la lumière cohérente issue des lasers. Le mot « holographie » vient du grec holos (« en entier ») et graphein (« écrire »). Holographie signifie donc « tout représenter ».

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Aperture apodization using cubic spline interpolation: application in digital holographic microscopy