Publication

Interconnection lines of platinum induced by laser direct writing

Hubert van den Bergh
1989
Journal Articles

Résumé

A laser-induced depostion technique is used to produce platinum interconnection lines for microelectronic applications. The influence of the laser power as well as the vapor pressure of the precursor upon the geometry, the morphol. and the line resistivity is studied. All the lines are essentially 100% Pt and resistivities very close to that of pure platinum can be achieved depending on the morphol. Line width equal to or less than the laser spot diam. have been obtained, thus enabling to produce lines in the submicron range.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/54abafc0-05cc-4dc8-8539-d8fafa46f7ec

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Concepts associés (29)

Pointeur laser (présentation)

vignette|300px|Pointeurs laser. Un pointeur laser est un outil utilisé par les conférenciers pour désigner des objets sur un tableau ou un écran. C'est la version moderne de la baguette d'autrefois. À base d'une diode laser de couleur rouge, il prend généralement la forme d'un stylo ou d'un porte-clef. Muni d'un bouton poussoir, il est alimenté grâce à des piles. Il existe une version « haute technologie », pour conférenciers, du célèbre couteau suisse. Il est équipé d'un stylo, d'un éclairage à LED, d'un pointeur laser et d'une clé USB.

Diode laser

Une diode laser est un composant opto-électronique à base de matériaux semi-conducteurs. Elle émet de la lumière monochromatique cohérente (une puissance optique) destinée, entre autres, à transporter un signal contenant des informations sur de longues distances (dans le cas d'un système de télécommunications) ou à apporter de l'énergie lumineuse pour le pompage de certains lasers (lasers à fibre, laser DPSS) et amplificateurs optiques (OFA, Optical Fiber Amplifier).

Laser

thumb|250px|Lasers rouges (660 & ), verts (532 & ) et bleus (445 & ). thumb|250px|Rayon laser à travers un dispositif optique. thumb|250px|Démonstration de laser hélium-néon au laboratoire Kastler-Brossel à l'Université Pierre-et-Marie-Curie. Un laser (acronyme issu de l'anglais light amplification by stimulated emission of radiation qui signifie « amplification de la lumière par émission stimulée de radiation ») est un système photonique.

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SNR enhancement of Raman-based long-range distributed temperature sensors using cyclic Simplex codes

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