Publication

Coated, light-transmitting or reflecting substrate, used as optical component or window, e.g. lens, mirror or windscreen, has (per)fluoroalkylsilane coating produced by plasma etching, hydration, drying and gas phase deposition

Patrik Willi Hoffmann, Gerit Kulik
2002
Patents

Résumé

A method for the gas phase deposition of partially fluorinated or perfluorinated alkyl silanes onto a substrate in a reaction chamber includes cleaning the substrate, hydrating the substrate with steam, drying the substrate and silanization of the substrate by deposition of the alkyl silane from the gas phase. The cleaning of the substrate is a plasma etching process and the hydration occurs directly after the plasma etching.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/434c0686-79a1-49c5-afbf-a5b75e4d99b0

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Patrik Willi Hoffmann, Gerit Kulik
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