Publication

Formation of platinum interconnection lines and periodic structures

Hubert van den Bergh
1993
Journal Articles

Résumé

Laser-induced CVD has been used to produce Pt lines on pyrex glass substrates by means of platinum bis(hexafluoroacetylacetonate) as precursor. The effect that writing speed has on the line geometry and resistivity was studied, as well as the influence of writing speed, precursor vapor pressure, and laser power on periodic structure formation. The results are discussed in terms of laser beam residence time and radiation-induced temp. increase. It is possible to obtain lines with a resistivity very close to that of pure Pt under optimum exptl. conditions.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/36001f1e-adfe-4bc1-a8e3-911c06a54f24

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Diode laser

Une diode laser est un composant opto-électronique à base de matériaux semi-conducteurs. Elle émet de la lumière monochromatique cohérente (une puissance optique) destinée, entre autres, à transporter un signal contenant des informations sur de longues distances (dans le cas d'un système de télécommunications) ou à apporter de l'énergie lumineuse pour le pompage de certains lasers (lasers à fibre, laser DPSS) et amplificateurs optiques (OFA, Optical Fiber Amplifier).

Tableau périodique des éléments

vignette|400px|Tableau périodique des éléments au . 400px|vignette|Avec davantage de détails par élément. Le tableau périodique des éléments, également appelé tableau ou table de Mendeleïev, classification périodique des éléments ou simplement tableau périodique, représente tous les éléments chimiques, ordonnés par numéro atomique croissant et organisés en fonction de leur configuration électronique, laquelle sous-tend leurs propriétés chimiques.

Droite (mathématiques)

En géométrie, le mot droite désigne un objet formé de points alignés. Une droite est illimitée des deux côtés, et sans épaisseur (dans la pratique, elle est représentée, sur une feuille, par une ligne droite ayant bien entendu des limites — celles de la feuille — et une épaisseur — celle du crayon). Pour les Anciens, la droite était un concept « allant de soi », si « évident » que l'on négligeait de préciser de quoi l'on parlait. L'un des premiers à formaliser la notion de droite fut le Grec Euclide dans ses Éléments.

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