Publication

MICROFABRICATED HALL SENSORS MINIATURIZED TO THE NANOMETER SCALE

Giovanni Boero, Christian Santschi, Radivoje Popovic
2006
Reports

Résumé

The aim of the project is the development of a new technology for the fabrication of bismuth (Bi) micro-nano Hall sensors integrated on plastic cantilevers. Bi, a semi-metal, is deposited by evaporation and structured by lift-off. Four electrodes made with Ti-Al are deposited and structured in the same way as Bi. SU-8 cantilevers and carrier chip are structured by photolithography process. The smallest size of the Hall sensor active area obtained with the photolithography was 2 x 2 um2 and was reduced to the nanometer scale (200x200 nm2) by the mean of the focused ion beam (FIB).

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/354491a9-17c2-4c55-be5e-c65c52243225

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Giovanni Boero, Christian Santschi, Radivoje Popovic
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Concepts associés (26)

Biosenseur

Un biosenseur (aussi appelé biocapteur) est un dispositif détecteur, semi-biologique associant trois éléments : l'échantillon à étudier : eau, air, sol, matériel biologique (tissus, micro-organismes, organites, récepteurs cellulaires, enzymes, anticorps, acides nucléiques, organismes génétiquement modifié, ou matériel issu d'OGM, etc.) un élément capteur (éventuellement sous la forme d'une puce électronique) détectant des changements physico-chimiques sous forme de signaux (présence/absence) biochimiques et/ou physiques ou chimique dans un milieu (externe ou interne au corps humain) et émettant un signal biologique.

Potential applications of graphene

Potential graphene applications include lightweight, thin, and flexible electric/photonics circuits, solar cells, and various medical, chemical and industrial processes enhanced or enabled by the use of new graphene materials. In 2008, graphene produced by exfoliation was one of the most expensive materials on Earth, with a sample the area of a cross section of a human hair costing more than

1,000 as of April 2008 (about

100,000,000/cm2). Since then, exfoliation procedures have been scaled up, and now companies sell graphene in large quantities.

Plastic Leaded Chip Carrier

Un boîtier de type PLCC (Plastic Leaded Chip Carrier) est un boîtier en plastique carré ou rectangulaire, portant des pattes de composants de type-“J” (à contacts plats) sur ses 4 côtés. Le nombre des pattes peut varier selon les types de 20 à 84. Elles sont espacées entre elles de 1,27 mm (0.05"). Les PLCCs sont conformes au standard JEDEC. L'un des avantages du boîtier PLCC est le gain de place du fait de l'utilisation de ses quatre côtés pour accéder au signaux du composant.

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