Publication

MICROFABRICATED RECYCLABLE MOULDS FOR FULL-WAFER STRUCTURING OF CERAMIC PRECURSOR POLYMERS

Vahid Fakhfouri
2006
Reports

Résumé

There is growing interest for new polymer materials and their applications in Micro Electro/Mechanical Systems (MEMS). In this work, we develop recyclable micro-moulds that can be used for microstructuring of new polymer materials, such as precursors and modified or doped polymers. The moulds are made by photopolymerisation of SU8. A sacrificial layer (thickness: 500nm), of aluminum is then sputtered on the moulds. This layer is later removed to release the final structures. The moulds are filled with a liquid ceramic precursor using micropipettes, inkjet or by spin coating.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/27ac04f0-f962-4daa-acb6-d442d6d6da43

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Polymère

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Céramique technique

redresse=1.2|vignette|Pièces de roulements, composite . redresse=1.2|vignette|Surface d'une céramique composite. La céramique technique est une branche de la science des matériaux traitant de la science et de la technologie de matériaux minéraux non métalliques ayant des applications industrielles ou militaires. Elle se distingue radicalement des créations artisanales (poterie) ou artistiques (céramique d'art) ainsi que des porcelaines à usage domestique.

Moulage par injection

vignette|Schéma simplifié du procédé de moulage par injection. vignette|Moulage par injection : une vieille presse d'injection plastique. Le moulage par injection, aussi appelé injection plastique, est un procédé de mise en œuvre de matières thermoformables, surtout les matières thermoplastiques mais aussi divers métaux, alliages et céramiques techniques. La plupart des pièces thermoplastiques sont fabriquées avec des presses d'injection plastique : la matière plastique est ramollie par la chaleur puis injectée dans un moule, puis refroidie.

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