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We report freestanding silicon photonic ring and disk resonators fabricated in a simplified silicon photonics process based on IMEC's iSiPP5OG standard platform that have been released by a custom MEMS post-processing step. Experimental results show high optical Q-factors up to 3.6x10(4) for both ring and disk resonators, and extinction ratios larger than 20 dB. These functional, freestanding resonators demonstrate the compatibility of MEMS processing within a silicon photonics platform and open the possibility for large-scale integration of more complex photonic devices.
Camille Sophie Brès, Marco Clementi, Jiaye Wu