Publication

Three-dimensional Microstructuring of Chalcogenide Glass by Femtosecond Laser Exposure and Subsequent Chemical Etching

Yves Bellouard
2026

Résumé

Chalcogenide glass has the broadest reported transparency in the infrared, making them particularly attractive for spectroscopy and infrared imagery. Yet, it remains a difficult material to shape in arbitrary form. In this paper, we explore the combination of femtosecond laser-exposure and subsequent chemical etching steps to produce arbitrary 3D shapes out of a chalcogenide glass substrate coated with a SiO 2 thin film. In this context, we discuss how laser parameters locally influence the etching rate.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/20b8c5c2-d4fd-4002-ac69-e5f1d3646eff

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Concepts associés (31)

Gravure (microfabrication)

La gravure (aussi appelée parfois par son nom anglophone, etching) est un procédé utilisée en microfabrication, qui consiste à retirer une ou plusieurs couches de matériaux à la surface d'un wafer. La gravure est une étape critique, extrêmement importante, lors de la fabrication d'éléments de microélectronique, chaque wafer pouvant subir de nombreuses étapes de gravure. Pour chaque étape de gravure, une partie du wafer est protégée de la gravure par une couche protectrice qui résiste à cette gravure.

Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs

thumb|upright=1.5|Évolution de la finesse de gravure des processeurs entre 1970 et 2017 La fabrication des dispositifs à semi-conducteur englobe les différentes opérations permettant l'élaboration de composants électroniques basés sur des matériaux semi-conducteurs. Entrent dans cette catégorie de composants à semi-conducteur, les composants discrets qui n'ont qu'une seule fonction comme les diodes et les transistors, et les circuits intégrés plus complexes, intégrant plusieurs composants, jusqu'à des milliards, dans le même boîtier.

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

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UV femtosecond laser induced self-organisation of micro-structures in the bulk of fused silica

Cryogenically enhanced quasi-optical resonator for megawatt pulsed millimeter-wave sources

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