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We demonstrate a strip waveguide-based LiNbO3 photonic integrated circuit fabricated with a novel hard mask, diamond-like-carbon (DLC). The steep sidewall configuration exhibits tight optical confinement and dispersion control while preserving ultra-low loss of < 4 dB/m. In the meantime, a low noise self-injection locked laser is achieved with our chips.
Tobias Kippenberg, Junqiu Liu, Maxim Karpov, Martin Hubert Peter Pfeiffer, Hairun Guo, Arslan Sajid Raja, Michail Zervas, Nils Johan Engelsen, Bahareh Ghadiani