Publication

Aluminum nitride thin films for high frequency applications

Paul Muralt
1999
Journal Articles

Résumé

A piezoelectric thin film sandwiched between two conductors is the basic structure for high frequency bulk acoustic wave devices. For that purpose, AlN thin films deposited by DC reactive sputtering on various electrode materials were investigated, Highly c-axis oriented thin films as thick as 2.5 mu m were grown on various substrates and analyzed. Intrinsic stress values ranging from strong compression to high tension were observed and piezoelectric d(33,f) coefficients up to 3.9 pm/V were measured. The first fabricated acoustic resonators showed a pronounced resonance peak centered at 2 GHz with a very high Q factor.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/0d97f734-8a62-46bc-912a-ca4e177f444d

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Concepts associés (32)

Électrode

Une électrode est un conducteur électronique, ou ionique ( verre) captant ou libérant des électrons. Les électrodes interviennent dans les systèmes générateurs de courant (comme les piles ou les accumulateurs électriques) et dans les électrolyses, dont le système est récepteur de courant. On parle aussi d'électrodes pour désigner des composants de certains appareils électriques comme les lampes radio, tube à rayons X, diodes à semi-conducteur. C'est également le cas dans le soudage à l'arc électrique.

Haute fréquence

La haute fréquence désigne un spectre de fréquences d'ondes électromagnétiques modulées dont la nature diffère en fonction du domaine auquel il s'applique. Le présent article traite du domaine des « hautes fréquences » (high frequencies en anglais, abrégé en HF) en radiocommunication qui désigne les ondes radio dont la fréquence est comprise entre et . Elles sont également nommées « ondes décamétriques » ou « ondes courtes » , en fonction de leur longueur d'onde comprise entre 10 et .

Supra-haute fréquence

On appelle supra-haute fréquence (SHF), , la bande de radiofréquences qui s'étend de à (longueur d'onde de à ). Les SHF font partie des micro-ondes. Les techniciens et ingénieurs français parlent plutôt d'hyperfréquences et leur domaine s'étendait de à . Cette appellation d'« hyperfréquences » est également officielle en France, d'après une Commission générale de terminologie et de néologie. Les SHF sont en particulier utilisées dans les fours à micro-ondes pour agiter les molécules d'eau.

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