Publication

Fabrication and characterization of 3D integrated 2 DOF Micromirror Arrays for excessive thermal loads

Nico de Rooij
2011
Conference Papers

Résumé

This paper reports a high fill-factor (>90%), 2-dimensional analog micromirror array designed specifically for very high, optically induced thermal load applications. Each pixel can attain a mechanical DC rotation angle of ±4 degrees around any arbitrary axis with 170V excitation. The maximum temperature rise on the mirror surface with 7 KW/m2 thermal load under 1 Pa ambient pressure is below 230 °C. A detailed assessment of the fabrication process –including the poly-Si vertical electrodes, wafer level mirror bonding, and copper electroplating of structural layers–, and characterization methodology is presented with experimental results.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/012ebceb-2241-40f7-82bb-b2788b8d8574

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Concepts associés (32)

Miroir

Un miroir est un objet possédant une surface suffisamment polie pour qu'une s'y forme par réflexion et qui est conçu à cet effet. C'est souvent une couche métallique fine, qui, pour être protégée, est placée sous une plaque de verre pour les miroirs domestiques (les miroirs utilisés dans les instruments d'optiques comportent la face métallique au-dessus, le verre n'étant qu'un support de qualité mécanique stable). En termes de miroiterie, le miroir est une glace de petit volume, c'est-à-dire de petites dimensions.

Electric motor

An electric motor is an electrical machine that converts electrical energy into mechanical energy. Most electric motors operate through the interaction between the motor's magnetic field and electric current in a wire winding to generate force in the form of torque applied on the motor's shaft. An electric generator is mechanically identical to an electric motor, but operates with a reversed flow of power, converting mechanical energy into electrical energy.

Reflet

Un reflet est, en physique, l' virtuelle formée par la réflexion spéculaire d'un objet sur une surface. La nature spéculaire de la réflexion est liée aux caractéristiques du corps réfléchissant. Les formes les plus connues s'obtiennent par réflexion sur une surface métallique (miroir), le verre ou l'eau. L'image virtuelle est inversée et se trouve de manière symétrique à l'objet par rapport au plan de réflexion (lois de Descartes). Un reflet est aussi une nuance de lumière ou de couleur apparaissant sur un fond ou un motif.

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Diamine-Mediated Synergistic Engineering of Orientation and Interfacial Field of 3D/1D Heterojunctions for Efficient Perovskite Photovoltaics

Long-term protection of crystalline zinc phosphide (Zn3P2) under atmospheric conditions

Link between graphene features and the resulting functionality of quasi-van der Waals Zn3P2