Mediaspace scheduled maintenance: Aug 25, 2026 07:00 - 12:00 AM. During this time, videos will be temporarily unavailable. Check status updates.

Recherche

Afficher tous les résultats pour

Accueil

Personne

Johana Bernasconi

Cette personne a quitté l’EPFL

À propos
Confidentialité
Mentions légales

Graph Chatbot

Publications associées (6)

Veuillez noter qu'il ne s'agit pas d'une liste complète des publications de cette personne. Elle inclut uniquement les travaux sémantiquement pertinents. Pour une liste complète, veuillez consulter Infoscience.

Afficher plus

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Publications associées (6)

Afficher plus

High power ultraviolet LED illumination systems: coherence properties and applications in photolithography

Johana Bernasconi

Mask-aligner photolithography is a technology used to replicate patterns from a mask to a photosensitive substrate. It is widely used in the fabrication of MEMS and micro-optical components, and for other applications with dimensions in the micrometer rang ...

EPFL2018

Structured amplitude and phase fields behind microstructures: The quest for high contrast modulation at proximity

Hans Peter Herzig, Toralf Scharf, Myun Sik Kim, Johana Bernasconi, Krishnaparvathy Puthankovilakam

Microstructures can be used to realize repetitive and singular high contrast features at different distances behind a structure. For practical applications, the amplitude field needs to be considered. To realize defined amplitude features at long distances ...

Spie-Int Soc Optical Engineering2016

High power modular LED-based illumination system for lithography applications

Hans Peter Herzig, Toralf Scharf, Wilfried Noell, Raoul Kirner, Johana Bernasconi

Mask-aligner lithography is a technology used to transfer patterns with critical dimensions in the micrometer range from below 1 micron for contact printing to a dozen of microns in proximity printing. This technology is widely used in the fabrication of M ...

2018