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Investigations of radio-frequency, capacitively-coupled large area industrial reactor : cost-effective production of thin film microcrystalline silicon for solar cells

Benjamin Strahm

The constant energy consumption and world-wide demography expansion add to the potential risks of ecological and human disaster associated with global warming. This makes it a necessity to develop renewable energy technologies such as photovoltaic energy. ...

EPFL2007

Powder formation in SiH[sub 4]–H[sub 2] discharge in large area capacitively coupled reactors: A study of the combined effect of interelectrode distance and pressure

Christoph Hollenstein, Benjamin Strahm

One of the main challenges for silicon thin film deposition for solar cell applications is to achieve high rate deposition in order to reduce the manufacturing costs. However, when silane and hydrogen are used as precursor gas in parallel plate plasma-enha ...

American Institute of Physics2010

Non-intrusive plasma diagnostics for the deposition of large area thin film silicon

Christoph Hollenstein, Alan Howling, Benjamin Strahm

Plasma diagnostics for large area, industrial RF parallel-plate reactors can be useful for process optimization and monitoring, provided that their implementation is practical and non-intrusive. For instance, Fourier transform infrared (FTIR) absorption sp ...

Elsevier2009