Séance de cours

Technologies de microfabrication

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Description

Cette séance de cours présente les technologies de microfabrication, couvrant des sujets tels que les fondamentaux de salles propres, les réussites MEMS et les techniques de salles propres. Les élèves apprendront la nanofabrication à l'aide de techniques avancées dans un environnement moderne propre. Le cours comprend de l'information sur les membres de l'équipe enseignante, les horaires et les objectifs. Il implique également des activités pratiques telles que la conception de masques, des processus propres et des techniques de caractérisation.

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Concepts associés (32)

Salle blanche

vignette|Combinaison avec masque typique des salles blanches. Une salle blanche (parfois dénommée salle propre selon l'usage et certaines spécificités) est une pièce ou une série de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée afin de minimiser l'introduction, la génération, la rétention de particules à l'intérieur, généralement dans un but spécifique industriel ou de recherche scientifique. Les paramètres tels que la température, l'humidité et la pression relative sont également maintenus à un niveau précis.

Microfabrication

alt=Micro-sculpture - Microlight3D|vignette|La « plus petite sculpture du monde », micro-autoportrait de l'artiste plasticien Michel Paysant imprimé en 3D avec une machine utilisant la technique de polymérisation à deux photons. La microfabrication est l'ensemble des techniques de fabrication permettant de produire des dispositifs avec des structures de l'ordre du micromètre et en dessous.

Gravure (microfabrication)

La gravure (aussi appelée parfois par son nom anglophone, etching) est un procédé utilisée en microfabrication, qui consiste à retirer une ou plusieurs couches de matériaux à la surface d'un wafer. La gravure est une étape critique, extrêmement importante, lors de la fabrication d'éléments de microélectronique, chaque wafer pouvant subir de nombreuses étapes de gravure. Pour chaque étape de gravure, une partie du wafer est protégée de la gravure par une couche protectrice qui résiste à cette gravure.

Microlithography

Microlithography is a general name for any manufacturing process that can create a minutely patterned thin film of protective materials over a substrate, such as a silicon wafer, in order to protect selected areas of it during subsequent etching, deposition, or implantation operations. The term is normally used for processes that can reliably produce features of microscopic size, such as 10 micrometres or less. The term nanolithography may be used to designate processes that can produce nanoscale features, such as less than 100 nanometres.

Projecteur de diapositives

Un projecteur de diapositives est un instrument d'optique permettant de visionner des diapositives par projection de l'image sur une surface blanche de grande taille (que ce soit un mur ou un écran adapté). Si son usage s'est répandu dans les années 1950, le terme « diapositif (ve) » apparaît dès 1892 dans la langue française avec la lanterne magique car le projecteur de diapositives en est le descendant direct par son principe de fonctionnement et ses buts. vignette|Un projecteur de diapositives Zett 250.

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