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MEMS et microsystèmes avancés: instructions de session interactives

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Dans cours

MICRO-534: Advanced MEMS & microsystems

In depth analysis of the operation principles and technology of advanced micro- and nanosystems. Familiarisation to their implementation into products and their applications. ...

Description

Cette séance de cours couvre le calendrier et le contenu du cours Advanced MEMS et Microsystems, y compris des sujets tels que les capteurs, les actionneurs, les MEMS optiques, les MEMS RF, les NEMS et les PowerMEMS. Il détaille également une session interactive où les étudiants préparent et présentent sur des sujets spécifiques.

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Enseignant·e·s (2)

Niels Quack

Prof. Dr. Niels Quack received the M.Sc. degree from Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland, in 2005, and the Dr.Sc. degree from Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH), Zürich, Switzerland, in 2010. From 2011 to 2015, he was Postdoctoral Researcher and Visiting Scholar with the Integrated Photonics Laboratory, Berkeley Sensor and Actuator Center, University of California, Berkeley, CA, USA. From 2014 to 2015, he was Senior MEMS Engineer with Sercalo Microtechnology, Neuchâtel, Switzerland. He is currently an SNSF Assistant Professor with Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland. He has authored and co-authored more than 50 papers in leading technical journals and conferences. His research interests include photonic micro and nanosystems, with an emphasis on diamond photonics and silicon photonic MEMS. He is Steering Committee Member of the IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) and served as General Chair of the IEEE OMN 2018 and the Latsis Symposium 2019 on Diamond Photonics. He is a Senior Member of IEEE, Member of The Optical Society (OSA) and life member of SPIE.

Danick Briand

Enseignement et PhD A dirigé les thèses EPFL de Alessio Mancinelli, Silvia Demuru, Ryan van Dommelen, Morgan Mc Kay Monroe, Nicolas Francis Fumeaux, James Alec Pierce Bourely A co-dirigé les thèses EPFL de Jérôme Courbat, Don Isarakorn, David de Koninck, Rahel Strässle, Rokhaya Gueye, Francisco Molina Lopez, Pattanaphong Janphuang, Andres Felipe Vasquez Quintero, Alexis Pierre Henri Marette Cours Advanced MEMS & microsystems MICRO-534 Approfondissement des principes de fonctionnement et tech

Source officielle

Concepts associés (17)

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Valve actuator

A valve actuator is the mechanism for opening and closing a valve. Manually operated valves require someone in attendance to adjust them using a direct or geared mechanism attached to the valve stem. Power-operated actuators, using gas pressure, hydraulic pressure or electricity, allow a valve to be adjusted remotely, or allow rapid operation of large valves. Power-operated valve actuators may be the final elements of an automatic control loop which automatically regulates some flow, level or other process.

Linear actuator

A linear actuator is an actuator that creates motion in a straight line, in contrast to the circular motion of a conventional electric motor. Linear actuators are used in machine tools and industrial machinery, in computer peripherals such as disk drives and printers, in valves and dampers, and in many other places where linear motion is required. Hydraulic or pneumatic cylinders inherently produce linear motion. Many other mechanisms are used to generate linear motion from a rotating motor.

Gravure (microfabrication)

La gravure (aussi appelée parfois par son nom anglophone, etching) est un procédé utilisée en microfabrication, qui consiste à retirer une ou plusieurs couches de matériaux à la surface d'un wafer. La gravure est une étape critique, extrêmement importante, lors de la fabrication d'éléments de microélectronique, chaque wafer pouvant subir de nombreuses étapes de gravure. Pour chaque étape de gravure, une partie du wafer est protégée de la gravure par une couche protectrice qui résiste à cette gravure.

Plaque des Mariannes

La plaque des Mariannes est une plaque tectonique de la lithosphère de la planète Terre. Sa superficie est de stéradians. Elle est généralement associée à la plaque philippine. Elle se situe dans l'Ouest de l'océan Pacifique. Elle couvre une petite partie de l'océan Pacifique et de la mer des Philippines ainsi que l'archipel des Mariannes. La plaque des Mariannes est en contact avec les plaques Philippines et pacifique. Ses frontières avec les autres plaques sont notamment formées de la fosse des Mariannes sur la côte Est de l'archipel des Mariannes et de la fosse de Yap sur sa côte Sud.

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