Transduction : Détection

Cette séance de cours couvre diverses méthodes de transduction pour détecter le mouvement et la déformation, y compris la détection de levier optique, la détection d'interféromètre optique, la détection capacitive, la détection piézoélectrique et la détection piézorésistive. Il explique les principes sous-jacents à chaque méthode, ainsi que leurs avantages et leurs limites, tels que la résolution, la précision, la faisabilité de l'intégration et les problèmes d'alignement. L'instructeur discute de l'utilisation de différentes techniques de transduction dans des applications à microéchelle, en mettant l'accent sur l'association avec les forces et les déformations. La séance de cours explore également les exigences d'efficacité et de performance électromécaniques pour la transduction de MEMS, en soulignant les compromis impliqués dans le choix de la méthode la plus appropriée pour des applications spécifiques.