Cours

MSE-619: Nanofabrication with focused electron and ion beams

Résumé

Nanofabrication with focused charged particle beams (SEM, FIB) and their applications such as lithography, gas assisted deposition / etching, and milling are discussed and the limitations of these processes are developed based on the acquired understanding of the interactions.

Séances de cours

Enseignant·e

Ivo Utke

Enseignement et PhD Doctorant·es actuel·les Camilla Minzoni A co-dirigé les thèses EPFL de Vinzenz Friedli, Laurent Bernau, Luisa Berger Cours Nanofabrication with focused electron and ion beams MSE-619

Source officielle

https://edu.epfl.ch/coursebook/fr/nanofabrication-with-focused-electron-and-ion-beams-MSE-619

Page Moodle

http://go.epfl.ch/MSE-619

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