Unité

Laboratoire de systèmes nano-électromécaniques

Laboratoire

Résumé

Le Laboratoire avancé NEMS de l'EPFL se concentre sur la recherche Nano-Electro-Mechanical Systems (NEMS) avec des dimensions proches ou inférieures à 1 um, offrant une responsabilité et une résolution sans précédent pour la détection de diverses magnitudes physiques et chimiques. Le groupe vise à faire progresser le NEMS et le MEMS en matière de détection et de communication en abordant la conception, la simulation, la fabrication et la caractérisation, avec une approche multidisciplinaire couvrant le génie mécanique, la microingénierie, le génie électrique, la science des matériaux, la physique et la bioingénierie.

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Personnes associées (5)

Marco Liffredo

Niels Quack

Prof. Dr. Niels Quack received the M.Sc. degree from Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland, in 2005, and the Dr.Sc. degree from Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH), Zürich, Switzerland, in 2010. From 2011 to 2015, he was Postdoctoral Researcher and Visiting Scholar with the Integrated Photonics Laboratory, Berkeley Sensor and Actuator Center, University of California, Berkeley, CA, USA. From 2014 to 2015, he was Senior MEMS Engineer with Sercalo Microtechnology, Neuchâtel, Switzerland. He is currently an SNSF Assistant Professor with Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland. He has authored and co-authored more than 50 papers in leading technical journals and conferences. His research interests include photonic micro and nanosystems, with an emphasis on diamond photonics and silicon photonic MEMS. He is Steering Committee Member of the IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) and served as General Chair of the IEEE OMN 2018 and the Latsis Symposium 2019 on Diamond Photonics. He is a Senior Member of IEEE, Member of The Optical Society (OSA) and life member of SPIE.

Alain Yuji Takabayashi

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