Publication

Microstructure and defects of wurtzite structure thin films

Nava Setter, Paul Muralt
1999
Journal Articles

Résumé

ZnO and AlN, which exhibit the wurtzite structure, were deposited onto metal coated SiO2 substrates by sputtering. X-ray diffraction (XRD) indicated that the films contained no second phases and exhibited an [0001] texture. Transmission electron microscopy (TEM) observations confirmed the XRD results and revealed the columnar microstructure of the films. The width of the columnar grains were less than 30 nm for AIN and between 100 and 400 nm for ZnO. In the ZnO grains, a large concentration of defects were identified, which included dislocations and stacking faults that lie on the basal plane. (C) 1999 Elsevier Science Limited. All rights reserved.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/ff76bcac-bad3-489d-99b2-5802711072cd

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Diffraction de poudre

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Cristallographie aux rayons X

La cristallographie aux rayons X, radiocristallographie ou diffractométrie de rayons X (DRX, on utilise aussi souvent l'abréviation anglaise XRD pour X-ray diffraction) est une technique d'analyse fondée sur la diffraction des rayons X par la matière, particulièrement quand celle-ci est cristalline. La diffraction des rayons X est une diffusion élastique, c'est-à-dire sans perte d'énergie des photons (longueurs d'onde inchangées), qui donne lieu à des interférences d'autant plus marquées que la matière est ordonnée.

Microscopie électronique en transmission

vignette|upright=1.5|Principe de fonctionnement du microscope électronique en transmission. vignette|Un microscope électronique en transmission (1976). La microscopie électronique en transmission (MET, ou TEM pour l'anglais transmission electron microscopy) est une technique de microscopie où un faisceau d'électrons est « transmis » à travers un échantillon très mince. Les effets d'interaction entre les électrons et l'échantillon donnent naissance à une image, dont la résolution peut atteindre 0,08 nanomètre (voire ).

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