Publication

Pattern transfer and post processing of complex nanostructures formed by e-beam exposure in PMMA

Nico de Rooij
2011
Journal Articles

Résumé

We present results on various post processing techniques to create complex 3-dimensional nanostructures with enhanced capabilities. The starting point for all architectures is a self aligned nanopillar with surrounding circular rim in PMMA. This particular shape is obtained by the energy density distribution of incident and backscattered electrons of e-beam exposure and reflects the dual behavior of PMMA as positive and negative resist. Employing only 1 lithographic step and several batch processing techniques, we ensure that the creation of the complex shapes can be obtained in a reproducible manner without subsequent realignment steps. We propose several applications for these structures, covering a wide variety of research areas. (C) 2011 Elsevier B.V. All rights reserved.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/feb50852-ffa9-479c-af7a-bccb8217f094

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Concepts associés (32)

Lithographie à faisceau d'électrons

L'utilisation d'un faisceau d'électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d'électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l'avantage de cette technique est qu'elle permet de repousser les limites de la diffraction de la lumière et de dessiner des motifs avec une résolution pouvant aller jusqu'au nanomètre. Cette forme de lithographie a trouvé diverses formes d'application dans la recherche et l'industrie des semi-conducteurs et dans ce qu'il est convenu d'appeler les nanotechnologies.

Lithographie

thumb|Affiche pour une exposition consacrée au centenaire de la lithographie par Pierre Puvis de Chavannes, 1895. La lithographie (du grec lithos, « pierre » et graphein, « écrire ») est une technique d’impression qui permet la création et la reproduction à de multiples exemplaires d’un tracé exécuté à l’encre ou au crayon sur une pierre calcaire. Inventée par Aloys Senefelder, à partir de 1796, en Allemagne, elle a été définitivement mise au point dans les premières années du .

Nanomatériau

Un nanomatériau est un matériau (sous forme de poudre, aérosol ou quasi-gaz, suspension liquide, gel) possédant des propriétés particulières à cause de sa taille et structure nanométrique. Les nanomatériaux sont habituellement issus de la nanotechnologie, à la différence des nanoparticules qui peuvent être d'origine naturelle ou résulter de processus tels que le soudage, le fumage, le polissage. Le , la Commission européenne publie ses recommandations relatives à la définition des nanomatériaux (recommandation 2011/696/UE) : .

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