Publication

Digital holographic microscopy for silicon microsystems metrology

Christian Depeursinge
2010
Conference Papers

Résumé

We propose to use digital holographic microscopy (DHM) with an illumination in the near infrared spectrum bandwidth, where the silicon is known to have small absorption. With such an illumination condition, it is possible to observe a wider range of specimens than in the visible spectrum, providing a new metrology technique for 3D silicon micro-systems characterization. Suitability of DHM with near infrared illumination for micro-optical elements and wafer inspection is demonstrated. The intrinsic robustness and speed of the method place DHM as a valuable candidate for real-time quality check inside production chains, opening a wide field of applications in quality control.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/f43cc9bf-bd56-4bd3-a391-6077243af3cd

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Christian Depeursinge
2010
Conference Papers

Résumé

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/f43cc9bf-bd56-4bd3-a391-6077243af3cd

À propos de ce résultat

Concepts associés (32)

Microscopie

La microscopie est un ensemble de techniques d' des objets de petites dimensions. Quelle que soit la technique employée, l'appareil utilisé pour rendre possible cette observation est appelé un . Des mots grecs anciens mikros et skopein signifiant respectivement « petit » et « examiner », la microscopie désigne étymologiquement l'observation d'objets invisibles à l'œil nu. On distingue principalement trois types de microscopies : la microscopie optique, la microscopie électronique et la microscopie à sonde locale.

Infrarouge

Le rayonnement infrarouge (IR) est un rayonnement électromagnétique de longueur d'onde supérieure à celle du spectre visible mais plus courte que celle des micro-ondes ou du domaine térahertz. Cette gamme de longueurs d'onde dans le vide de à se divise en infrarouge proche, au sens de proche du spectre visible, de environ, infrarouge moyen, qui s'étend jusqu'à , et infrarouge lointain. Les limites de ces domaines peuvent varier quelque peu d'un auteur à l'autre.

Spectroscopie ultraviolet-visible

La spectroscopie ultraviolet-visible ou spectrométrie ultraviolet-visible est une technique de spectroscopie mettant en jeu les photons dont les longueurs d'onde sont dans le domaine de l'ultraviolet ( - ), du visible ( - ) ou du proche infrarouge ( - ). Soumis à un rayonnement dans cette gamme de longueurs d'onde, les molécules, les ions ou les complexes sont susceptibles de subir une ou plusieurs transitions électroniques. Cette spectroscopie fait partie des méthodes de spectroscopie électronique.

Afficher plus

Publications associées (21)

Afficher plus

Digital holographic microscopy for silicon microsystems metrology

Chattez avec Graph Search

Advanced Optoelectronic Design for Perovskite-Silicon Multijunction Solar Cells

Unifying frequency metrology across microwave, optical, and free-electron domains

PiezoelectricMEMSEnergyHarvester Including High-EfficiencyEnergyConversion Circuit