Publication

Laser induced pyrolytic deposition of copper from (hexafluoroacetylacetonate)(trimethylvinylsilane) copper

Hubert van den Bergh
1995
Journal Articles

Résumé

The photothermal laser induced CVD of Cu from its hexafluoroacetylacetonate trimethylvinylsilane deriv. was studied as a function of added H2O vapor pressure. The height, width, elec. cond., and chem. compn. of the deposited Cu lines are measured. Under anhyd. conditions, the lines were characterized by a low growth rate, high C contamination, and poor elec. resistivity. In the presence of H2O vapor, a high growth rate (1800 mm/min) and high purity Cu lines were obtained with a resistivity ratio of 1.1.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/ef492c9e-ec5d-45fc-bc19-e6978215be23

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Concepts associés (29)

Pression de vapeur

La pression de vapeur est la pression partielle de la vapeur d'un corps présent également sous forme liquide ou solide. Lorsque le système est à l'équilibre (les proportions relatives de gaz et liquide ou solide ne varient pas), la pression de vapeur est dite « saturante ». Lorsque le système est hors équilibre : si la pression de vapeur est inférieure à la pression de vapeur saturante, une portion de liquide ou de solide passe sous forme gazeuse (évaporation, vaporisation ou sublimation) ; si la pression de vapeur est supérieure à la pression de vapeur saturante, une portion de la vapeur passe sous forme liquide ou solide (liquéfaction, condensation).

Dépôt chimique en phase vapeur

vignette|Schéma d'un CVD Le dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour l'anglais chemical vapor deposition) est une méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux. La CVD est un procédé utilisé pour produire des matériaux solides de haute performance, et de grande pureté. Ce procédé est souvent utilisé dans l'industrie du semi-conducteur pour produire des couches minces. Dans un procédé CVD typique, le substrat est exposé à un ou plusieurs précurseurs en phase gazeuse, qui réagissent et/ou se décomposent à la surface du substrat pour générer le dépôt désiré.

Vapeur d'eau

vignette|Évolution des teneurs connues de quelques gaz de l'atmosphère terrestre (autrefois plus riche en vapeur d'eau, et plus acide (en raison de l'acide carbonique formé avec le ). Pour rendre ces variations plus visibles, l'échelle temporelle n'est pas linéaire. La vapeur d'eau est l'état gazeux de l'eau. C'est un gaz inodore et incolore. À l'opposé, dans le langage commun, le terme vapeur d'eau peut servir à désigner le brouillard créé par la condensation d'eau à l'état gazeux sous forme de microgouttelettes.

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