Publication

MEMS spectrometer for infrared gas analysis based on a tunable filter of porous silicon

Philippe Renaud, Sandra Schweizer
2001
Conference Papers

Résumé

We present a MEMS infrared spectrometer for selective and quantitative chemical gas analysis. It contains a tunable optical filter of porous silicon that allows to measure the infrared absorption of a gas mixture at different wavelengths serially with only one single thermopile detector. This method eliminates drift of the sensor without any reference beam. The filter that measures typically 1.0 x 1.8 mm(2) is tilted by a microactuator to tune it. This wavelength modulation can replace a modulation of the source. Selective sensing of CO2 and CO by their absorption bands at 4.23 mum and 4.65 mum has been shown.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/eaedc923-9a42-47c3-bd0a-e0c88711ecfb

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