Publication

Piezoelectric cantilever microphone for photoacoustic GAS detector

Nava Setter, Paul Muralt, Jacek Baborowski, Andreas Seifert, Nicolas Ledermann
2001
Journal Articles

Résumé

New micromachined pressure sensors based on PZT coated silicon cantilevers have been fabricated and integrated in a photoacoustic gas detector. PZT Sol-gel thin films texture and composition were optimized with respect to the transverse piezoelectric coefficient e(31,f). A best value of -12 C/m(2) was obtained with (100)/(001) textured thin films at the MPB composition. Optimum stress compensation between the different layers composing the cantilever has been studied in order to yield flat cantilevers. A high response of 150 mV/Pa with a S/N of 700 at 1 Pa and 1 Hz bandwidth has been measured. The influence of the damping chamber under the cantilever is also reported.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/d633e0b3-cbd1-4c1a-8f0c-a5739a568798

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Nava Setter, Paul Muralt, Jacek Baborowski, Andreas Seifert, Nicolas Ledermann
2001
Journal Articles

Résumé

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/d633e0b3-cbd1-4c1a-8f0c-a5739a568798

À propos de ce résultat

Concepts associés (30)

Photoacoustic spectroscopy

Photoacoustic spectroscopy is the measurement of the effect of absorbed electromagnetic energy (particularly of light) on matter by means of acoustic detection. The discovery of the photoacoustic effect dates to 1880 when Alexander Graham Bell showed that thin discs emitted sound when exposed to a beam of sunlight that was rapidly interrupted with a rotating slotted disk. The absorbed energy from the light causes local heating, generating a thermal expansion which creates a pressure wave or sound.

Piézoélectricité

La piézoélectricité (du grec πιέζειν, piézein, presser, appuyer) est la propriété que possèdent certains matériaux de se polariser électriquement sous l’action d’une contrainte mécanique et réciproquement de se déformer lorsqu’on leur applique un champ électrique. Les deux effets sont indissociables. Le premier est appelé effet piézoélectrique direct ; le second effet piézoélectrique inverse. Cette propriété trouve un très grand nombre d’applications dans l’industrie et la vie quotidienne.

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Afficher plus

Publications associées (15)

Afficher plus

Piezoelectric cantilever microphone for photoacoustic GAS detector

Chattez avec Graph Search

Novel Lithium Niobate Shear Acoustic Wave Resonator Architectures for Wideband Wireless Communication

Plasma diagnostics as a tool for process optimization: the case of microcrystalline silicon deposition

PZT thick films by diol chemical solution deposition