Publication

Method and device for determining plasma characteristics

Ivo Furno, Alan Howling
2016
Patents

Résumé

The invention relates to a method and a device for determining plasma characteristics, the method comprising the steps of: - arranging a measurement probe (2) having a self-inductance in proximity to a plasma (3) to establish inductive coupling between the plasma (3) and the measurement probe (2); - determining a mutual inductance (Mprobe/plasma) between the measurement probe (2) and the plasma (3); - depending on the mutual inductance (Mprobe/plasma), estimating a quantity representing the plasma complex conductivity (σ); and - deriving at least one plasma parameter from the plasma complex conductivity (σ).

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/ca50f54c-9c83-4e95-b62a-bdc29867493f

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