Publication

Growth, Properties, and Applications of Al1-xScxN Thin Films

Paul Muralt, Stefan Mertin, Fazel Parsapour
2019
Conference Papers

Résumé

The discovery of enhanced piezoelectricity in solid solutions of AlN and ScN is certainly one of the most important events in piezoelectric MEMS. As compared to pure AlN, it brought a crucial factor 2 to 3 improvement in a number of figures of merit governing the performance of MEMS devices. The aim of this contribution is to give a short overview on actual topics in processing, properties, and applications in RF filters and sensors.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/bccbf14d-aa4a-438a-8307-e208b408ebd7

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Growth, Properties, and Applications of Al1-xScxN Thin Films

Chattez avec Graph Search

Optimizing RF readout for silicon spin qubits in an access array

Automated wide-ranged finely tunable microwave cavity for narrowband phase noise filtering

Microwave Imaging of Brain Stroke : Contributions to Modeling and Inverse Problem Resolution