Développement et caractérisation de microbobines pour un système électromécanique en technologie MEMS

Pendant longtemps, la fabrication de microactionneurs s’est concentrée sur des systèmes électrostatiques. Mais depuis plus d’une décennie, les cas d’actionnements magnétiques en technologie MEMS se multiplient. Ce projet entre exactement dans cette catégorie puisqu’il consiste à réaliser et caractériser des microbobines, dans le but de les intégrer à un micromoteur magnétique. Dans un premier temps, la géométrie des bobines a été déterminée en fonction des différentes possibilités trouvées dans la littérature. Le choix s’est fixé sur les bobines planes spiralées (Fig. 1 (a)), plus simples à réaliser. La fabrication en salle blanche a été exécutée selon un procédé spécifique appelé Damascène, qui offre la possibilité d’empiler plusieurs couches conductrices.