Publication

3D structuration of LTCC / thick-film sensors and fluidic devices

Thomas Maeder, Peter Ryser
2007
Conference Papers

Résumé

Thick-film and LTCC (Low Temperature Cofired Ceramic) technologies are now recognised as valid platforms for the fabrication of novel devices at the mesoscale for sensor, actuator, fluidic, electrical and packaging applications. In these fields, they allow the fabrication of sensitive, yet robust and cost effective devices. This work reviews and comments the different available structuration techniques, with an emphasis on sensor technology and on structuration methods based on sacrificial layers. This is exemplified through various sensors and related devices developed at our laboratory and elsewhere. Processing conditions are also discussed, with the aim of obtaining useful and reproducible sacrificial materials. Key words: sensors, thick-film, LTCC, 3D structuration, sacrificial layers, processing.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/b4af1f9b-0825-4f9a-a645-9e42bff9e89e

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Thomas Maeder, Peter Ryser
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Concepts associés (27)

Capteur photographique

Un capteur photographique est un composant électronique photosensible servant à convertir un rayonnement électromagnétique (UV, visible ou IR) en un signal électrique analogique. Ce signal est ensuite amplifié, puis numérisé par un convertisseur analogique-numérique et enfin traité pour obtenir une . Le capteur est donc le composant de base des appareils photo et des caméras numériques, l'équivalent du film (ou pellicule) en photographie argentique.

Capteur

vignette|Le système informatique d'un avion de ligne gère en une fraction de seconde les données issues de nombreux capteurs (vitesse, direction, contrôle des réacteurs). vignette|Capteur infrarouge. Un capteur est un dispositif transformant l'état d'une grandeur physique observée en une grandeur utilisable, telle qu'une tension électrique, une hauteur de mercure, un courant électrique ou la déviation d'une aiguille. Le capteur se distingue de l'instrument de mesure par le fait qu'il ne s'agit que d'une interface entre un processus physique et une information manipulable.

Active-pixel sensor

An active-pixel sensor (APS) is an , which was invented by Peter J.W. Noble in 1968, where each pixel sensor unit cell has a photodetector (typically a pinned photodiode) and one or more active transistors. In a metal–oxide–semiconductor (MOS) active-pixel sensor, MOS field-effect transistors (MOSFETs) are used as amplifiers. There are different types of APS, including the early NMOS APS and the now much more common complementary MOS (CMOS) APS, also known as the CMOS sensor.

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