Publication

Diborane nitrogen/ammonia plasma chemistry investigated by infrared absorption spectroscopy

Christoph Hollenstein
2000
Journal Articles

Résumé

Boron nitride films were deposited by r.f. capacitively-coupled plasma (13.56 MHz) using two different gas mixtures: Ar-B2H6-NH3 and Ar-B2H6-N-2. In order to study the gas-phase reactions of the plasma in situ Fourier transform infrared absorption spectroscopy has been used. The study reveals that, in our conditions, mixing ammonia with diborane leads to the well-known creation of diammoniate of diborane. In the presence of the plasma, salt production is inhibited and creation of aminoborane is observed. Replacing ammonia by nitrogen, none of these species could be detected. The mechanism of formation of these products from the precursors and their influence on the deposited film are also discussed. (C) 2000 Elsevier Science B.V. AU rights reserved.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/a9de8bc9-7a01-4480-baec-421b10c42468

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Concepts associés (32)

Spectrométrie d'absorption

La spectrométrie d'absorption est une méthode de spectroscopie électromagnétique utilisée pour déterminer la concentration et la structure d'une substance en mesurant l'intensité du rayonnement électromagnétique qu'elle absorbe à des longueurs d'onde différentes. La spectroscopie d'absorption peut être atomique ou moléculaire. Comme indiqué dans le tableau précédent, les rayonnements électromagnétiques exploités en spectroscopie d'absorption moléculaire vont de l'ultraviolet jusqu'aux ondes radio : La couleur d'un corps en transmission (transparence) représente sa capacité à absorber certaines longueurs d'onde.

Ammoniac

L'ammoniac est un composé chimique de formule (du groupe générique des nitrures d'hydrogène). Dans les conditions normales de température et de pression, c'est un gaz noté gaz. Il est incolore et irritant, d'odeur piquante à faible dose ; il brûle les yeux et les poumons en concentration plus élevée. Il est industriellement produit par le procédé Haber-Bosch à partir de diazote et de dihydrogène. C'est l'un des composés les plus synthétisés au monde, utilisé comme réfrigérant, et pour la synthèse de nombreux autres composés (dont un grand tonnage d'engrais).

Spectroscopie infrarouge

thumb|Un spectromètre infrarouge. La spectroscopie infrarouge (parfois désignée comme spectroscopie IR) est une classe de spectroscopie qui traite de la région infrarouge du spectre électromagnétique. Elle recouvre une large gamme de techniques, la plus commune étant un type de spectroscopie d'absorption. Comme pour toutes les techniques de spectroscopie, elle peut être employée pour l'identification de composés ou pour déterminer la composition d'un échantillon.

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