Publication

Finfet with fully PH-responsive HfO2 as highly stable biochemical sensor

Mihai Adrian Ionescu, Didier Bouvet
2014
Conference Papers

Résumé

In this work, highly scaled FinFETs (Fin Field Effect Transistors) are proposed as both sensing and circuit units of a lab-on-a-chip platform. The FinFET-based sensors with an HfO2 gate oxide demonstrate full pH-response with ΔVth ≈ 56 mV/pH. High readout sensitivity Sout = ΔId/Id ≈ 43% is achieved in combination with excellent device electronic properties, i.e. SS = 77 mV/dec and Ion/Ioff =1.5×10^6. High long-term stability is proven over 4.5 days with a drift in time limited at 0.14 mV/h.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/9e865469-3d07-4275-abbe-d09a603ee57f

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