Publication

Manufacture of micro-electro-mechanical-system using sacrificial layer made of silicon, useful for micro-electro-mechanical-system device architecture, e.g. radio-frequency capacitive switch and current switch

Mihai Adrian Ionescu, Cyrille Hibert, Philippe Flückiger
2002
Patents

Résumé

NOVELTY - A micro-electro-mechanical-system (MEMS) is manufactured by the use of a sacrificial layer that is made of silicon. USE - The invention is used in surface micromachining for the manufacture of a MEMS containing a suspended metal layer or MEMS device architecture. MEMS device is a suspended gate metal oxide semiconductor field effect transistor (SG-MOSFET). It is used as radio-frequency capacitive switch, current switch, radio-frequency tuneable capacitor, magnetic field sensor, accelerometer, and pressure sensor. (all claimed)

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/9d50430b-c9f4-4395-a4d4-5e5c7a223b1b

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Mihai Adrian Ionescu, Cyrille Hibert, Philippe Flückiger
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Concepts associés (27)

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Protection cathodique

La protection cathodique permet de protéger un métal contre la corrosion. Pour modifier le potentiel du métal à protéger cathodiquement, une anode installée dans le même électrolyte est utilisée. Les anodes peuvent être de deux types : soit des anodes ayant un potentiel standard plus bas que le métal à protéger (anode sacrificielle), soit des anodes couplées à un générateur de tension continue imposant une différence de potentiel entre les deux métaux (méthode à courant imposé).

Anode

L'anode d'un appareil passif parcouru par un courant continu est l'électrode où, en sens conventionnel, entre le courant (en courant électronique, l'électrode d'où sortent les électrons). Par exemple, pour une diode, c'est l'électrode reliée au pôle positif du générateur ; pour une pile électrique faisant office de générateur, c'est l'électrode négative. Dans une électrolyse active en chimie, avec fourniture d'énergie électrique, l'anode est par définition là où sont contraints (par le champ électrique) de se diriger les ions négatifs ou anions.

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