Publication

Subpixel translation of MEMS measured by discrete Fourier transform analysis of CCD images

Martinus Adela Maria Gijs, Christophe Yamahata, Marc Stranczl
2011
Conference Papers

Résumé

We present a straightforward method for measuring in-plane linear displacements of microelectromechanical systems (MEMS) with a subnanometer resolution. The technique is based on Fourier transform analysis of a video recorded with a Charge-Coupled Device (CCD) camera attached to an optical microscope and can be used to characterize any device featuring periodic patterns along the direction of motion. Using a digital microscope mounted on a vibration isolation table, a subpixel resolution better than 1/100 pixel could be achieved, enabling quasi-static measurements with a resolution of 0.5 nm.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/97617e05-881c-4a76-afb6-308dcd53a8d5

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Subpixel translation of MEMS measured by discrete Fourier transform analysis of CCD images

Chattez avec Graph Search

Wide-field fluorescence lifetime imaging of single molecules with a gated single-photon camera

Verification of the Fourier-enhanced 3D finite element Poisson solver of the gyrokinetic full-f code PICLS

Stability of the Faber-Krahn inequality for the short-time Fourier transform