Publication

HYBRID SPM PROBE WITH PLATINUM CANTILEVER AND TIP FOR ELECTRICALLY CONDUCTING MODE SPM EXPERIMENTS

2006
Reports

Résumé

Recently electrically conducting SPM probes were used as read/write sensor of magneto-resistive nanopillars and ferroelectric domains in the development of >1 Tb/inch2 data storage. Since metal coated (platinum (Pt) or Pt/iridium) silicon (Si) probes are not suitable at high current densities, probes with an entire metallic tip form a solution, such as tungsten or platinum. We present the fabrication of a hybrid SPM probe with full platinum cantilever and tip. The body of the probe consists of the negative type photopolymer SU-8, hexagonally structured. This enables a dry under-etch probe release. A high yield with straight cantilevers is obtained. Figure 1a) shows a probe with two 100-µm-long cantilevers. Figure 1b) shows a Pt-cantilever in detail. Figure 1c) gives a close-up of a tip. A tip radius better than 20 nm is measured. First analyses show a resistance to electrical currents beyond 10 mA.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/959a2f46-a36f-49a2-9c3f-36ec2ac3b359

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Concepts associés (32)

Courant électrique

Un courant électrique est un mouvement d'ensemble de porteurs de charges électriques, généralement des électrons, au sein d'un matériau conducteur. Ces déplacements sont imposés par l'action de la force électromagnétique, dont l'interaction avec la matière est le fondement de l'électricité. On doit au physicien français André-Marie Ampère la distinction entre courant et tension électriques.

Figure de sommet

En géométrie, une figure de sommet d'un sommet donné d'un polytope est, de façon intuitive, l'ensemble des points directement reliés à ce sommet par une arête. Ceci s’applique également aux pavages infinis, ou pavages remplissant l’espace avec des cellules polytopiques. De façon plus précise, une figure de sommet pour un n-polytope est un (n-1)-polytope. Ainsi, une figure de sommet pour un polyèdre est une figure polygonale, et la figure de sommet pour un polychore est une figure polyèdrique.

Kelvin probe force microscope

Kelvin probe force microscopy (KPFM), also known as surface potential microscopy, is a noncontact variant of atomic force microscopy (AFM). By raster scanning in the x,y plane the work function of the sample can be locally mapped for correlation with sample features. When there is little or no magnification, this approach can be described as using a scanning Kelvin probe (SKP). These techniques are predominantly used to measure corrosion and coatings. With KPFM, the work function of surfaces can be observed at atomic or molecular scales.

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A vibration suppression approach to high-speed atomic force microscopy

Integration of a Fabrication Process for an Aluminum Single-Electron Transistor and a Scanning Force Probe for Tuning-Fork-Based Probe Microscopy

High-aspect ratio three-dimensional photoresin-based microstructures doped with luminescent nanocrystals