Publication

Large MEMS-based programmable reflective slit mask for multi-object spectroscopy fabricated using multiple wafer-level bonding

Nico de Rooij
2012
Conference Papers

Résumé

Multi-object spectroscopy (MOS) allows measuring infrared spectra of faint astronomical objects that provides information on the evolution of the Universe. MOS requires a slit mask for object selection at the focal plane of the telescope. We are developing MEMS-based programmable reflective slit masks composed of 2048 individually addressable micromirrors. Each micromirror measures 100 x 200 mu m(2) and is electrostatically tilted by a precise angle of at least 20 degrees. The main requirements for these arrays are precise and uniform tilt angle over the whole device, uniformity of the mirror electromechanical behavior, a flat mirror deformation and individual addressing capability of each mirror. This capability of our array is achieved using a line-column algorithm based on an optimized tilt angle/voltage hysteresis of the electrostatic actuator.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/71fbf56e-7581-4888-96b6-94f40dbd605a

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Concepts associés (32)

Miroir

Un miroir est un objet possédant une surface suffisamment polie pour qu'une s'y forme par réflexion et qui est conçu à cet effet. C'est souvent une couche métallique fine, qui, pour être protégée, est placée sous une plaque de verre pour les miroirs domestiques (les miroirs utilisés dans les instruments d'optiques comportent la face métallique au-dessus, le verre n'étant qu'un support de qualité mécanique stable). En termes de miroiterie, le miroir est une glace de petit volume, c'est-à-dire de petites dimensions.

Miroir sphérique

Un miroir sphérique est un miroir dont la forme est une calotte sphérique, c'est-à-dire une sphère tronquée par un plan. L'ouverture du miroir est donc un disque, et son axe optique est la droite normale à l'ouverture et passant par son centre. Il existe des miroirs sphériques convexes et concaves. Le miroir sphérique est astigmatique, c'est-à-dire que des rayons issus d'un même point source ne convergent pas. Il n'est stigmatique que pour son centre qui est sa propre image.

Spectroscopie infrarouge

thumb|Un spectromètre infrarouge. La spectroscopie infrarouge (parfois désignée comme spectroscopie IR) est une classe de spectroscopie qui traite de la région infrarouge du spectre électromagnétique. Elle recouvre une large gamme de techniques, la plus commune étant un type de spectroscopie d'absorption. Comme pour toutes les techniques de spectroscopie, elle peut être employée pour l'identification de composés ou pour déterminer la composition d'un échantillon.

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