Publication

Dynamic Stencil Lithography

2006
Student Projects

Résumé

Recent developments are going towards miniaturized devices and structures. Besides advanced photolithography techniques, complementary patterning methods are evolving. Among them is the nanostencil technique. This technique is about defining patterns under vacuum by evaporation of metal through stencil apertures. Such a stencil can be used either in static or dynamic mode. The latter allows overcoming the limitations of static deposition and in particular offers the possibility to make custom defined structures, for example three dimensional and closed loop structures. The goal of this Master Project is to develop a setup that allows dynamic definition of micro- and nanometer sized structures by means of stencil lithography.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/641f6d24-074e-460e-a074-399b9265f4bf

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Concepts associés (26)

Nanolithography

Nanolithography (NL) is a growing field of techniques within nanotechnology dealing with the engineering (patterning e.g. etching, depositing, writing, printing etc) of nanometer-scale structures on various materials. The modern term reflects on a design of structures built in range of 10−9 to 10−6 meters, i.e. nanometer scale. Essentially, the field is a derivative of lithography, only covering very small structures. All NL methods can be categorized into four groups: photo lithography, scanning lithography, soft lithography and other miscellaneous techniques.

Sérigraphie

La sérigraphie (du latin sericum la soie et du grec graphein l’écriture) est une technique d’imprimerie qui utilise des pochoirs (à l'origine, des écrans de soie) interposés entre l’encre et le support. Les supports utilisés peuvent être variés (papier, carton, textile, métal, verre, bois, etc.). La sérigraphie fut créée par les Chinois durant la dynastie Song (960-1279) et se répandit dans les pays voisins. La forte émigration chinoise vers les États-Unis au marqua l’entrée de la sérigraphie dans l’ère moderne et favorisa son éclosion outre-Atlantique.

Imprimerie

thumb|Johannes Gutenberg, inventeur de la presse mécanique à caractère alphabétique mobile métallique à partir de 1450. L'imprimerie est un ensemble de techniques permettant la reproduction en grande quantité, sur support matériel, d'écrits et d'illustrations, cela afin d'en permettre une distribution de masse. Généralement, on utilise des supports plans et la matière la plus utilisée est le papier ou le textile. Ces techniques forment ce que l'on appelle communément la chaîne graphique.

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