Publication

Etching of sub-micrometer structures through Stencil

Jürgen Brugger, Luis Guillermo Villanueva Torrijo, Andreea Veronica Savu, Oscar Vazquez Mena, Marc Antonius Friedrich van den Boogaart, Katrin Sidler Arnet, Kristopher Pataky
2008
Journal Articles

Résumé

Resistless processes to realize the pattern transfer of your designs into the substrate present some advantages, as the reduction in fabrication steps. Stencil Lithography (SL) is one of the most used resistless processes and, up to now, it has mainly been used to perform local selective deposition of materials. Here, the local etching of different substrates through a stencil hard mask is presented. The compatibility with different etching conditions, the scalability of the technique and the main challenges are described. Minimum feature dimensions of 500 nm in polysilicon and 200 nm in LS-SiN is presented.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/63b709b9-3e6c-4c1d-a6a3-64a5445f1ba3

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Etching of sub-micrometer structures through Stencil

Chattez avec Graph Search

Stencil-Based Selective Surface Functionalization of Silicon Nanowires in 3D Device Architectures for Next-Generation Biochemical Sensors

Printed degradable piezoelectric microsystems: From ink formulation to device fabrication and characterization

Additive and digital manufacturing of transient sensors and bioelectronics