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Preceramic Polymers as Precursor for implantable MEMS Applications

2017
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Résumé

Polymer-derived ceramics (PDCs) offer a variety of unique features that outperform classical powder-sintered ceramics and make PDCs valuable candidates for challenging applications such as implantable MEMS. The precise controllability of the precursors’ chemical composition allows the adjustment of the functional properties such as the electrical conductivity. Well known PDC systems are being customized and shaped in way not being possible before by a sophisticated combination of various advanced microfabrication techniques such as photolithography, 2PP 3D printing, and thermal scanning probe lithography. Continuing the research of a former CTI & SNSF project and resorting to a comprehensive study of the curing and pyrolysis processes of polysilazanes, the current collaborative project Ceramic X.0 targets the fabrication and evaluation of novel ceramics with unique properties and advanced shapes.

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https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/54d22b76-e01a-430b-9a04-1d0ef4a65dda

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Concepts associés (27)

Composition chimique

La matière étant constituée en général de plusieurs corps purs (composés chimiques et corps simples), la composition chimique d'un produit fournit la quantité ou la proportion de chacun des corps purs qui le composent ; on les appelle de manière générique des composants. On parle de : composition qualitative lorsque l'on se contente simplement d'identifier les composants. Par exemple, l'air est essentiellement composé de diazote et de dioxygène ; composition quantitative lorsqu'on leur adjoint les concentrations, les quantités.

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Substance chimique

thumb|Différentes substances chimiques de la famille des lanthanides. Une substance chimique, ou produit chimique (parfois appelée substance pure), est tout échantillon de matière de composition chimique définie et présentant des propriétés caractéristiques (couleur, odeur, densité, point de fusion), indépendamment de son origine. Il n'est pas toujours aisé de donner une définition précise d'une substance chimique. De manière générale, cette notion désigne un produit manufacturé (synthétisé) par l'Homme (n'existant pas dans la nature ou copiant des molécules existant dans la nature).

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