Publication

Pb(Zr,Ti)O3 thin films on zirconium membranes for micromechanical applications

Nava Setter, Paul Muralt
1996
Journal Articles

Résumé

An efficient, electrically conductive, chemical barrier for the integration of piezoelectric Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) films on reactive metal substrates has been developed, opening new possibilities for PZT integration on micromechanical and semiconductor devices, Very reactive zir conium films have been taken in order to test the quality of the specially designed RuO2/Cr buffer under the condition of in situ sputter deposition of PZT at 600 degrees C. The PZT/RuO2 interface was found to be free of intermediate phases. A PZT activated metallic micromechanical element was demonstrated with a thin film Zr membrane. (C) 1996 American Institute of Physics.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/51254830-d1db-46d2-aa5c-4fb402a303d3

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Concepts associés (32)

Piézoélectricité

La piézoélectricité (du grec πιέζειν, piézein, presser, appuyer) est la propriété que possèdent certains matériaux de se polariser électriquement sous l’action d’une contrainte mécanique et réciproquement de se déformer lorsqu’on leur applique un champ électrique. Les deux effets sont indissociables. Le premier est appelé effet piézoélectrique direct ; le second effet piézoélectrique inverse. Cette propriété trouve un très grand nombre d’applications dans l’industrie et la vie quotidienne.

Composant semi-conducteur

vignette|Aperçu de quelques dispositifs semi-conducteurs encapsulés Un composant semi-conducteur est un composant électronique dont le fonctionnement repose sur les propriétés électroniques d'un matériau semi-conducteur (principalement le silicium, le germanium et l'arséniure de gallium, ainsi que des semi-conducteurs organiques). Sa conductivité se situe entre les conducteurs et les isolants. Les composants semi-conducteurs ont remplacé les tubes à vide dans la plupart des applications.

Semi-conducteur

Un semi-conducteur est un matériau qui a les caractéristiques électriques d'un isolant, mais pour lequel la probabilité qu'un électron puisse contribuer à un courant électrique, quoique faible, est suffisamment importante. En d'autres termes, la conductivité électrique d'un semi-conducteur est intermédiaire entre celle des métaux et celle des isolants. Le comportement électrique des semi-conducteurs est généralement modélisé, en physique de l'état solide, à l'aide de la théorie des bandes d'énergie.

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