Publication

An Orthogonal Fluxgate-Type Magnetic Microsensor

Radivoje Popovic, Pavel Kejik
2006
Conference Papers

Résumé

In this paper, we present a new microfabricated orthogonal fluxgate sensor structure. The sensor consists of an electroplated copper excitation rod surrounded by an electroplated permalloy layer and has planar pick-up coils for signal detection. The use of electroplating leads to a low-cost fabrication process and the use of planar pick-up coils provides easy integration with CMOS processes. The fabricated sensor has an excitation independent linear range of ±100 μT, a sensitivity of 280 μV/mT, and an average power dissipation of 0.8 mW for 30 mA-peak sinusoidal excitation current at 100 kHz frequency.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/502922fd-677a-4a71-b8b9-bf530b55ee33

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chat

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

An Orthogonal Fluxgate-Type Magnetic Microsensor

Chattez avec Graph Search

Can increasing the size and flexibility of a molecule reduce decoherence and prolong charge migration?

Integrated Wireless Power, Data Communication, and Thermal Sensing System for Autonomous Multisite Brain Implants

Morphological and Material Programability of a Hall-Effect Based Soft Tactile Sensors