Publication

Low-cost LTCC-based sensors for low force ranges

Thomas Maeder
2009
Conference Papers

Résumé

We have designed and fabricated a low-range (ca. 100 mN) thick-film piezoresistive force sensor with a cantilever beam fabricated in LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic). The beam was soldered onto a standard thick-film 25.4 x 12.7 mm signal conditioning base [1]. Switching from a classical Al2O3-based thick-film beam to LTCC allows design of a 3D structured beam with increased sensitivity of the piezoresistive bridge, yet largely conserved strength and stiffness. Another advantage of LTCC compared to alumina is a lower Young’s modulus (approx. 3 times lower), more suitable for the measurement of small loads.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/4e82516b-d623-42a0-82e3-ac6001c29916

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