Publication

Pseudomorphic InGaAs/In(Ga)P bidimensional electron gas grown by chemical beam epitaxy

Jean-François Carlin
1996
Journal Articles

Résumé

Growth temperatures between 450 and 520 degrees C and V/III ratios of 2-8 were explored to optimize the crystalline quality and the transport properties of compressively strained InxGa1-xAs/InP heterostructures (0.53 < x < 1). 77 K Hall mobilities as high as 118000 cm(2) V-1 s(-1) with n(s) = 1.4 x 10(12) cm(-2) were measured on structures incorporating an In0.8Ga0.2As channel grown with optimized conditions.

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Jean-François Carlin
1996
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Concepts associés (16)

Épitaxie par jet moléculaire

L'épitaxie par jets moléculaires (ou MBE pour Molecular Beam Epitaxy) est une technique consistant à envoyer un ou plusieurs jets moléculaires vers un substrat préalablement choisi pour réaliser une croissance épitaxiale. Elle permet de faire croître des échantillons nanostructurés de plusieurs à une vitesse d'environ une monocouche atomique par seconde.

Épitaxie

L'épitaxie est une technique de croissance orientée, l'un par rapport à l'autre, de deux cristaux possédant un certain nombre d'éléments de symétrie communs dans leurs réseaux cristallins. On distingue l'homo-épitaxie, qui consiste à faire croître un cristal sur un cristal de nature chimique identique, et l'hétéro-épitaxie, dans laquelle les deux cristaux sont de natures chimiques différentes. Étymologiquement, « épi » en grec signifie « sur » et « taxis », « arrangement ».

Épitaxie en phase vapeur aux organométalliques

L'épitaxie en phase vapeur aux organométalliques (EPVOM, aussi connue sous les acronymes anglophones MOVPE — metalorganic vapor phase epitaxy ou MOCVD — metalorganic chemical vapor deposition, terme plus général) est une technique de croissance cristalline dans laquelle les éléments à déposer, sous forme d'organométalliques ou d'hydrures, sont amenés vers le substrat monocristallin par un gaz vecteur. Cette technique de croissance est particulièrement prisée dans l'industrie des semi-conducteurs III-V en raison de la bonne reproductibilité et des fortes vitesses de croissance accessibles.

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