Publication

LTCC free-standing structures with mineral sacrificial paste

Thomas Maeder, Peter Ryser
2008
Conference Papers

Résumé

In this work, mineral sacrificial pastes (MSP) previously developed for standard thick-film technology (alumina substrates) are extended to LTCC in order to make a capacitive anemometer. Application of MSP materials on free-sintering (unconstrained and not zero-shrinkage) LTCC is challenging: shrinkage must be matched to that of the LTCC in order to avoid excessive deformation, or sufficiently compliant materials must be used. Here, different MSP materials / materials systems are described, evaluated and compared to their (standard) thick-film counterparts, with respect to their ability to form deformation-free intricate micromechanical structures and their release (by oxidation and chemical dissolution) characteristics. Finally, by using the more successful MSP materials, an application is proposed with a capacitive micro-force sensor serving as anemometer for an indoor slow flyer. Key words: LTCC, Sacrificial layers, Free-standing Structures, Mineral Paste, Capacitive Force Sensor

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/3fb01c91-f00e-454c-a7eb-3908f497d1fb

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Concepts associés (20)

Capacitive sensing

In electrical engineering, capacitive sensing (sometimes capacitance sensing) is a technology, based on capacitive coupling, that can detect and measure anything that is conductive or has a dielectric constant different from air. Many types of sensors use capacitive sensing, including sensors to detect and measure proximity, pressure, position and displacement, force, humidity, fluid level, and acceleration. Human interface devices based on capacitive sensing, such as touchpads, can replace the computer mouse.

Écran tactile

thumb|L'écran tactile d'une borne d'accueil. Un écran tactile est un périphérique informatique qui combine les fonctionnalités d'affichage d'un écran (moniteur) et celles d'un dispositif de pointage comme la souris, le pavé tactile ou le stylet optique. Cela permet de réduire le nombre de périphériques sur certains systèmes et de réaliser des logiciels ergonomiques très bien adaptés à certaines fonctions.

Graisse (mécanique)

En mécanique, une graisse est un produit pâteux plus ou moins consistant utilisé comme lubrifiant. Les graisses forment une pellicule qui diminue le frottement et favorise le glissement. La graisse est un composé semi-solide. Alors qu'une huile sera généralement liquide, la graisse conserve sa forme sans nécessairement suivre celle de son contenant. En raison de sa viscosité élevée par rapport à l'huile, la graisse est utilisée pour lubrifier des pièces de machines, d'outils, ou d'équipements soumis : à une charge élevée ; à une température élevée alors qu'une huile s'évaporerait ; à des déplacements réduits ou lents.

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