Publication

Sub micrometer ceramic structures fabricated by molding a polymer-derived ceramic

Jürgen Brugger, Thomas Kiefer, Rosario Maurizio Gullo, Jonas Grossenbacher
2012
Conference Papers

Résumé

This paper describes the fabrication of sub micrometer silicon oxycarbide (SiCO) ceramic structures. The method consists in replicating silicon micro/nanostructures in polydimethylsiloxane (PDMS), followed by a micro/nano molding of liquid polymer derived ceramic precursor (PDC). A dense ceramic SiCO replicated structure is obtained. In order to replicate the original structures with the highest fidelity possible, we applied a combination of coatings on the PDMS mold, in order to improve both filling and releasing. It was possible to fabricate reproducibly arrays of ceramic tips with a radius of 120 nm.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/3eef445a-cece-493c-b957-8f017e569034

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