Publication

CMOS Hotplate Chemical Microsensors

2007

Résumé

This is the first comprehensive book on microhotplate-based chemical sensor systems in CMOS-technology. It covers all aspects of successful sensor prototyping: theory of transducer modelling, microelectronics design considerations, system design issues, and issues related to system and device microfabrication, packaging, and testing. A variety of different hotplates for different operation conditions is detailed and a family of metal-oxide-covered microhotplate-based microsensor systems with increasing complexity is presented. These systems belong to a new generation of chemical microsensors and represent examples of the successful integration of nanomaterials, microtechnology and microelectronics. The book provides students, scientists and engineers with an accessible introduction to the field of microhotplate-based chemical sensing, with all the necessary fundamental knowledge included. Beyond that, it also provides detailed information on all important issues concerning complex high-performance CMOS chemical microsensor systems; hence it will also be valuable to experts already familiar with the field.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/3d7ffa7c-fa46-4eac-83f8-491de6d39f41

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Microfabrication

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Capteur

vignette|Le système informatique d'un avion de ligne gère en une fraction de seconde les données issues de nombreux capteurs (vitesse, direction, contrôle des réacteurs). vignette|Capteur infrarouge. Un capteur est un dispositif transformant l'état d'une grandeur physique observée en une grandeur utilisable, telle qu'une tension électrique, une hauteur de mercure, un courant électrique ou la déviation d'une aiguille. Le capteur se distingue de l'instrument de mesure par le fait qu'il ne s'agit que d'une interface entre un processus physique et une information manipulable.

Complementary metal oxide semi-conductor

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