Publication

A MEMS tunable phase monitor with integrated photodiode read-out for silicon photonic circuits

Niels Quack, Alain Yuji Takabayashi
2023

Résumé

Electrostatic MEMS provide low power consumption to programmable photonics. However, the scaling of programmable photonics also requires solutions for circuit monitoring. We demonstrate a MEMS tunable phase monitor with integrated read-out on a foundry platform.

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