Publication

Laterally-resolved study of the Au/SiNx/GaAs(100) interface

Giorgio Margaritondo
1998
Journal Articles

Résumé

We report a microscopic study of the Au/5 Angstrom SiNx/GaAs Schottky barrier based on scanning near-field optical microscopy. Photocurrent yield microimages taken at different photon energies reveal non-topographic features. Taking into account their dependence on photon energy and bias, such features are consistent with lateral variations of the local density of states related to defects. The results, therefore, confirm that lateral variations must be considered when analyzing semiconductor interfaces and of the corresponding devices. (C) 1998 Elsevier Science B.V.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/058834ab-b377-4687-a699-006b12df0f6d

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Concepts associés (25)

Microscopie

La microscopie est un ensemble de techniques d' des objets de petites dimensions. Quelle que soit la technique employée, l'appareil utilisé pour rendre possible cette observation est appelé un . Des mots grecs anciens mikros et skopein signifiant respectivement « petit » et « examiner », la microscopie désigne étymologiquement l'observation d'objets invisibles à l'œil nu. On distingue principalement trois types de microscopies : la microscopie optique, la microscopie électronique et la microscopie à sonde locale.

Microscopie à sonde locale

La microscopie à sonde locale (MSL) ou microscopie en champ proche (MCP) ou scanning probe microscopy (SPM) en anglais est une technique de microscopie permettant de cartographier le relief (nano-topographie) ou une autre grandeur physique en balayant la surface à imager à l'aide d'une pointe très fine (la pointe est idéalement un cône se terminant par un seul atome). Le pouvoir de résolution obtenu par cette technique permet d'observer jusqu'à des atomes, ce qui est physiquement impossible avec un microscope optique, quel que soit son grossissement.

Microscope optique en champ proche

Le microscope optique en champ proche (MOCP, ou SNOM pour scanning near-field optical microscope ou NSOM pour near-field scanning optical microscopy) ou microscope optique à sonde locale (MOSL) est un type de microscope à sonde locale qui permet d'imager des objets à partir de la détection des ondes évanescentes confinées au voisinage de leur surface (détection en champ proche optique). Le MOCP permet de compenser la diffraction, une des limitations de la microscopie optique.

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