Publication

Multilayer mems cantilevers

Georg Fantner
2016
Patents

Résumé

The present invention relates to a cantilever or membrane comprising a body and an elongated beam attached to the body. The elongated beam includes a first layer comprising a first material, a second layer comprising a second material having an elastic modulus different to that of the first material, a third layer comprising a third material having an elastic modulus different to that of the first material, where the first layer is sandwiched between the second layer and the third layer.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/04199ff3-96e3-46d4-b1d5-c1233b1d7d8b

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