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Low Temperature Wet Conformal Nickel Silicide Deposition for Transistor Technology through an Organometallic Approach

Giovanni De Micheli, Pierre-Emmanuel Julien Marc Gaillardon, Michele De Marchi, Maxime Victor Thammasack

The race for performance of integrated circuits is nowadays facing a downscale limitation. To overpass this nanoscale limit, modern transistors with complex geometries have flourished, allowing higher performance and energy efficiency. Accompanying this br ...

Amer Chemical Soc2017

Top-Down Fabrication of Gate-All-Around Vertically-Stacked Silicon Nanowire FETs with Controllable Polarity

Giovanni De Micheli, Yusuf Leblebici, Pierre-Emmanuel Julien Marc Gaillardon, Davide Sacchetto, Jian Zhang, Michele De Marchi

Asthe currentMOSFET scaling trend is facing strong limitations, technologies exploiting novel degrees of freedom at physical and architecture level are promising candidates to enable the continuation of Moore's predictions. In this paper, we report on the ...

Institute of Electrical and Electronics Engineers2014

Polarity Control at Runtime : from Circuit Concept to Device Fabrication

Michele De Marchi

Semiconductor device research for digital circuit design is currently facing increasing challenges to enhance miniaturization and performance. A huge economic push and the interest in novel applications are stimulating the development of new pathways to ov ...

EPFL2015