Mécanismes de défaillance dans les MEMS

Cette séance de cours couvre les principaux mécanismes de défaillance dans MEMS, y compris la phase de conception, la fabrication et les défaillances en cours d'utilisation. Il traite des modes de défaillance liés à la conception, aux matériaux, à la fabrication et aux conditions d'utilisation, en soulignant l'importance des considérations de fiabilité dès la phase de conception initiale. La séance de cours se penche également sur la caractérisation des propriétés des matériaux, telles que la résistance à la traction, pour les matériaux fragiles et ductile. Divers modèles de fracture et stratégies d'atténuation de la résistance mécanique aux chocs et aux vibrations dans les dispositifs MEMS sont explorés, soulignant l'importance du choix du matériau approprié, de l'optimisation de la géométrie et du traitement contrôlé pour améliorer la fiabilité et la robustesse.